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发布时间:2020-10-07 16:25:30
镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响
靶基距:靶基距是影响成膜速率的重要因素之一,随着靶基距增加,被溅射材料射向基片时与气体分子碰撞的次数增多,同时等离子体密度也减弱,动能减少,沉积速率降低,但膜层外观较好。靶基距太小,沉积太快,工件温升大,膜层外观差。
靶功率;磁控溅射本身粒子初始动能比较小,离化率低,电源功率越大,溅射出的粒子的初始能量越大,靶材溅射量也越大,沉积速率越快,膜层容易上厚度和硬度,同时工件温升也大,过高的功率会使沉积速率太快,粒子来不及表面迁移和扩散,易形成阴影效应,膜层会比较疏松,应力较大。
佛山市锦城镀膜有限公司以耐高温车辆灯具注塑 镀膜为主的***生产厂家,公司秉承“以质取胜,求真务实,车灯杯哪家好,顾客至上”理念,欢迎广大客户光临了解,我们将为你的产品锦上添花.
镀膜玻璃的特点
1。热反射玻璃的特点:
通过镀不同薄膜,控制对太阳直接辐射的反射、透过和吸收,达到调节热量传递的目的。热反射镀膜玻璃具有各种各样的颜色,热反射玻璃有以下特点:
1能有效控制太阳直接辐射能的入射量。在夏季白天太阳直接照射时,与普通透明玻璃相比,可将向室内传递的太阳辐射热减少15%--70%;
2丰富多采的反射色调和佳的装饰效果;
3良好的遮避作用;
4能减弱紫外光的透过。
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反应溅射就是在反应气体环境中镀膜,溅射过程中靶材会与溅射气体发生化学反应。反应溅射一般沉积不导电的膜层,车灯杯,例如:Snox,ZnOx,Siox,SiNx等。在反应溅射系统中,一般都加入Ar加速反应速度,即提高溅射速率。在反应溅射气氛中,加入工作气体越多,溅射速率越高,当加入的工作气体过多时,车灯杯加工,反应气体来不急将所有溅射出来的原子反应掉,车灯杯定做,膜层内就会含有金属,我们把这种状态叫翻转。在反应溅射过程中,无论翻转与正常状态,靶的溅射速率都没有不反应溅射速率高。
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